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等離子清洗機是利用等離子體內的高能粒子的活化作用，使得工件表面的待清洗層上的有機物、氧化物等污垢以及各種粒子發(fā)生一系列的物理化學(xué)反應，從而從清洗表面脫落或蒸發(fā)，從而達到清洗的作用。

等離子清洗機除了具有清洗作用外，它還可以對特定材料的表面性能進(jìn)行改善，如材料粘附性、浸潤性和相容性等。

等離子體包含大量活性粒子，如高能電子、離子、自由基、激發(fā)態(tài)的氣體原子和分子以及光子等，其能量可通過(guò)輻射、中性粒子流和離子流的碰撞等作用于材料表面，這些粒子與材料表面發(fā)生諸如刻蝕和清潔、氧化、接枝、活化、聚合等相互作用，以此改善材料的表面特性。

等離子清洗機的主要作用如下

材料表面活化

塑料、玻璃、陶瓷與聚乙烯(PE)、聚丙烯(PP)、聚四氟(PTFE)等一樣是沒(méi)有極性的，因此這些材料在印刷、粘合、涂覆前要進(jìn)行處理。在惰性材料表面生成活性基團，增強表面極性，提高表面能。等離子處理與灼燒處理相比，不會(huì )損害樣品，同時(shí)還可以十分均勻地處理整個(gè)表面，不會(huì )產(chǎn)生有毒煙氣，盲孔和帶縫隙的樣品也可以處理。

材料表面刻蝕

如在基材表面沉積化學(xué)材料獲得一些期望的性能,通過(guò)等離子清洗或刻蝕作用去除基材上的沉積物。

表面接枝與聚合

在等離子體表面活化產(chǎn)生的基團或等離子體引發(fā)聚合層不能與材料表面牢固結合時(shí)，采用等離子體接枝的方法來(lái)改善。等離子體接枝的原理為：首先利用表面活化在材料表面產(chǎn)生新的活性基團，利用此基團與后續的活性物質(zhì)產(chǎn)生化學(xué)共價(jià)鍵結合，后續的活性物質(zhì)中帶有能夠滿(mǎn)足應用的特定基團，以達到既能滿(mǎn)足表面特性又能牢固結合的目的。

材料表面改性

以聚四氟乙烯(PTFE)為例，在其未做處理的情況下，不能印刷或粘合。使用等離子清洗機處理后可以使表面最大化，同時(shí)在表面形成一個(gè)活性層，這樣PTFE就能進(jìn)行粘合、印刷操作。

材料表面清洗

材料表面嘗嘗會(huì )有油脂、油污等有機物及氧化層，在進(jìn)行粘合、焊接前，需要用等離子清洗機來(lái)得到完全潔凈和無(wú)氧化層的表面。氧離子與材料表面的油污反應生成二氧化碳和水，適用于金屬、玻璃、陶瓷等多種材料。

在不同的行業(yè)等離子清洗機的用途不盡相同

半導體封裝行業(yè)

等離子清洗機在整個(gè)封裝工藝過(guò)程中的作用主要有防止包封分層、提高焊線(xiàn)質(zhì)量、增加鍵合強度、提高可靠性以及提高良品率節約成本等。

印刷與包裝行業(yè)

等離子清洗機的主要作用是表面清洗和表面化學(xué)結構改性，以改善材料表面的附著(zhù)力、潤濕性和印刷適性。

微流控芯片制作

等離子清洗機的作用是增強芯片及載玻片表面的親水性，從而使PDMS芯片和載玻片更緊密的貼合。

鍍膜行業(yè)

等離子清洗機的作用是使基體表面粗糙度增大，一定程度內基體表面粗糙度的提高可以增強鍍層與基體間的機械嚙合作用，提高鍍層的膜基結合強度。

玻璃行業(yè)

等離子清洗機的作用是利用等離子體來(lái)轟擊玻璃表面來(lái)達到常規清洗達不到的效果，例如減少玻璃疏水性增加清潤性等等。

等離子清洗機的作用可以說(shuō)是五花八門(mén)，等離子清洗機能夠有效的改善材料的表面性能，包括潤濕性、粘合性、染色性、印刷性、防靜電性、拒水性和拒油性及其他性能等等。并且低溫等離子體對材料的作用只發(fā)生在其表面幾十至數千埃厚度范圍內，能使材料表面性能顯著(zhù)改善而材料本體性能不受影響，同時(shí)又具有高效、低成本、環(huán)保的優(yōu)點(diǎn)。